EUV 광원 만들 때 주석필요, 주석 산화를 방지하기 위해 수소필요

 

 

https://www.hankyung.com/article/2023121218391

ASML 차세대 클린룸 직관한 윤 대통령…"양국, 반도체 동맹으로 격상"

 

 

 

삼성전자 및 SK하이닉스가 각각 ASML과 체결한 양해각서(MOU)의 의미도 크다.

삼성전자와 ASML은 국내에 1조원을 투입해 연구개발센터를 설립하는 내용의 MOU를 체결했다.

SK하이닉스와 ASML은 수소가스를 재활용하는 기술을 함께 개발한다.

EUV 광원을 만들 때는 주석이 필요한데, 이 주석이 산화하는 것을 방지하기 위해 수소가 쓰인다.

 

이 수소를 재활용해 EUV 장비 1대당 연간 165억원의 비용을 줄일 수 있는 기술을 개발하겠다는 목표다.

 

 

 

 

 

 

SK하이닉스와 ASML는 EUV 장비 내부의 광원 흡수 방지용 수소가스를 소각하지 않고,

재활용하는 기술을 개발한다.

 

재활용 기술을 통해 EUV 한 대당 전력 사용량을 20% 감축하고

연간 165억원의 비용 절감 효과를 낸다는 것이다.

 

 

https://www.speconomy.com/news/articleView.html?idxno=319723

윤석열 대통령, 네덜란드서 경제 성과 쏠쏠…삼성電·SK, ASML과  협업 관계 구축 등 - 스페셜경제

 

https://www.chosun.com/politics/diplomacy-defense/2023/12/13/4ECYU5KERFCWXG73MQQXHRJZTE/?utm_source=naver&utm_medium=referral&utm_campaign=naver-news

삼성·ASML, 1兆 투자해 한국에 R&D센터 만든다

 

반도체도 EUV 기술이 들어가면, 수소기술이 필수군요..

수소가 필요한 이유가 또 늘었네..

 

왜 수소가 필요한지는 학문적으로 들어가는 것 같아서, 여기서 스탑